原子沉積系統(tǒng)是一款緊湊型獨立的PC計算機控制的ALD原子層沉積系統(tǒng)，帶Labview軟件，具備四級密碼控制的用戶授權保護功能。系統(tǒng)為全自動的安全互鎖設計，并提供了強大的靈活性，
原子沉積系統(tǒng)的操作步驟：
1、開機：開普氮(壓力0.4-0.6MPa)、高純氮氣瓶(壓力小于0.1MPa)；開總電源；開水冷機。
2、放樣品：點擊“進氣”，待壓強升至1個大氣壓后，打開腔體，放入樣品。點擊“設置”，將流量重新設置為：20。
3、開機械泵：先打開機械泵電源開關，然后點擊“泵閥開”。4、設置溫度參數：點擊“設置”，開始設置溫度參數，例如1：200度；2：230度；11(水)：50度，或者11(臭氧)：0度；10(Al源)：0度。循環(huán)次數根據需要設置。流量：20。點擊“確定”，開始加熱，加熱時間不少于45min。
5、排水：加熱45min后，若之前用過水，而本次實驗用臭氧，則需排水。點擊“模式1”，將前驅體4的脈沖時間設為：1000ms，清洗時間設為：5s，關閉小窗，點擊“開始”，n個循環(huán)后，點擊“結束”，排水完成。
6、設置沉積模式參數：點擊“模式1”或者“模式2”，設置前驅體和水(或者臭氧)的脈沖時間和清洗時間。以沉積氧化鋁為例，前驅體3為鋁源，前驅體4為水(或者臭氧)，其他為空置，設置前驅體3的脈沖時間為：60ms，清洗時間設為：10s；設置前驅體4的脈沖時間為：50ms，清洗時間設為：30s。
7、設置載氣流量和循環(huán)次數：點擊“設置”，流量設置為：20；循環(huán)次數根據所需樣品厚度而定。
8、開始實驗：打開相應前驅體的手動閥，如果使用臭氧作為反應源，氣壓，開腔體，取出樣品。
10、抽真空：點擊“泵閥開”，氣壓下降后，點擊“進氣”，關閉高純氮的減壓閥，流量下降至1位數時，點“設置”，將將流量重新設置為：0。
(若下次實驗換另外的源，則需排空，具體操作：點擊“泵閥開”，氣壓下降后，點擊“進氣”，點擊“模式1”，將前驅體3的脈沖時間設為：500ms，清洗時間設為：5s，將前驅體4的脈沖時間設為：1000ms，清洗時間設為：10s，關閉小窗，點擊“開始”，100個循環(huán)后，點擊“結束”，排空完成。)
11、關儀器：點擊“設置”，將1、2和11(水)的溫度設為：0，將所用源的溫度設為：0。點擊“泵閥關”，關機械泵，關總電源，關普氮、關水冷。
微信公眾號
訪問手機端